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羅茨泵機組原理與應用

來源：成都新德南光機械設備有限公司 | 發布時間：2025-07-13 |

羅茨泵機組工作原理

羅茨泵機組是一種容積式真空泵，由兩個相互嚙合的“8”字形轉子（羅茨轉子）在泵腔內同步反向旋轉，實現氣體的吸入和排出。其核心特點是無內部壓縮，依靠轉子的高速旋轉將氣體從進氣端推向排氣端，再通過前級泵（如旋片泵或螺桿泵）將氣體排出系統，廣泛應用于對真空度和潔凈度要求較高的行業。

羅茨泵本身不能單獨工作，需與前級泵組成機組，形成兩級或多級抽氣系統。其抽氣過程分為三個階段：
吸氣階段：轉子旋轉時，進氣口側容積增大，吸入氣體。
輸送階段：轉子繼續旋轉，將氣體封閉在泵腔與殼體之間，向排氣端輸送。
排氣階段：氣體被推至排氣口，由前級泵抽走。
羅茨泵的極限真空可達10?2~10?3 Pa，具有抽速大（可達數萬m3/h）、無油污染、耐腐蝕等優勢，適用于潔凈真空環境。

羅茨泵機組應用場景

半導體與光伏制造：用于晶圓鍍膜、刻蝕、CVD（化學氣相沉積）等工藝，提供高潔凈真空環境，避免油污染。
真空冶金：在熔煉、燒結、熱處理等過程中維持穩定真空，提高材料純度。
化工與醫藥：用于大型真空蒸餾、凍干機、原料藥生產，確保無油污染。
科研與實驗室：應用于粒子加速器、真空鍍膜、空間模擬艙等，提供穩定抽氣能力。
食品包裝：用于真空包裝機，提高食品保鮮效果，延長保質期。